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上海燊碩專為部分客戶研發(fā)而設計的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。我們的等離子清洗機的真空腔可支持多達7個可調節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。燊碩等離子清洗機具有多種電極設置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統(tǒng)的應用范圍，提供給用戶無與倫比的靈活性。

燊碩等離子清洗機是面向大半導體市場工業(yè)級客戶與研發(fā)型客戶使用需求設計的等離子處理設備，適用于等離子清洗、活化以及刻蝕等多種應用。設備可在嚴苛環(huán)境下穩(wěn)定運行，獲得高度均一化的處理效果。

光刻膠去除——去除表面殘膠，形成清潔、活化的表面。

密封前處理——經(jīng)由等離子活化樣品表面，提升塑封料的結合力，減少分層、空洞等不良的產(chǎn)生。

金屬鍵合前處理——通過等離子處理去除焊盤表面的金屬氧化層，提升后續(xù)鍵合工藝的良率和結合力。

底部填充前處理——等離子活化提升膠體在表面的流動性，消除空洞與起泡，增強填充效果。

表面粗化與微蝕——消除表面盈利，使材料更易結合。